統合型MEMS用設計・解析支援システム「MemsONE」Ver.4.0をリリース
〜 RFスイッチなど接触機構をもつMEMSデバイスの設計・開発の効率化を実現 〜

財団法人マイクロマシンセンター、みずほ情報総研株式会社、日本ユニシス・エクセリューションズ株式会社、株式会社数理システムにより構成される「MemsONEコンソーシアム」^＊1 は、2月7日（月）よりMEMS^＊2用設計・解析ソフトウェア「MemsONE」Ver.4.0の販売を開始します。

本システムは、MEMSの設計・開発における構造、電磁場、熱伝導などの数値解析機能を備え、動作機構を総合的に検証・評価する「機構解析シミュレータ」、エッチングシミュレータ、マルチプロセスエミュレータによるMEMS製造プロセスを総合的に検証・評価する「プロセス解析ツール」、そのほか「プロセス逆問題解析ソフト」や「MEMS回路シミュレータ」、「ナノインプリント解析シミュレータ」、「知識データベース」などで構成されています。本システムの活用により、さまざまな分野の技術者やMEMS製造プロセスに精通していない技術者がMEMSを容易に設計し、迅速に試作評価を行うことが可能となります。

新たに発売する「MemsONE」Ver.4.0では、RFスイッチなど接触機構を含む解析、MEMS回路シミュレーションにおいてプルイン現象を含む可動電極の制御解析に対応しました。そのほか、メッシュ分割や圧電解析の境界条件設定などのデータ作成機能の強化、表示文字サイズの拡大など解析結果表示機能の改善、解析条件設定時に有用なCADモデルの体積および面積算出機能の追加、材料データベースにおけるデータ一括参照・登録などのインターフェース機能強化や圧電定数などのデータ項目の追加といったユーザ支援機能の充実により、MEMSデバイスの設計・開発をより効率よく行うことが可能となりました。また稼働環境として、普及の進むWindows® 7にも対応しました。

「MemsONE」は、約80機関で採用され、出荷ライセンス数は約230となっています。今回の「MemsONE」Ver.4.0の発売により、Ver.1.0〜Ver.3.0の導入実績と合わせ、今後1年間で約120機関、400ライセンスの普及を目指します。

以上

■MemsONE Ver.4.0の概要

製品名	MemsONE Ver.4.0
発売日	2011年2月7日（月）
販売元	みずほ情報総研株式会社 日本ユニシス・エクセリューションズ株式会社 株式会社数理システム （大学・公的研究機関向け頒布は、財団法人マイクロマシンセンターが担当）
商品体系	MemsONE Standardシリーズ（MEMS設計・開発における実用版） MemsONE　Liteシリーズ（試用版）

「MemsONE」の著作権は以下の企業・団体に帰属します。 財団法人マイクロマシンセンター： 知識データベース、材料・プロセスデータベース みずほ情報総研株式会社： 機構解析シミュレータ、プロセス解析ツール、ナノインプリント解析シミュレータ 日本ユニシス・エクセリューションズ株式会社： フレームワークソフト 株式会社数理システム： プロセス逆問題解析ソフト、MEMS回路シミュレータ

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